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蓝宝石晶体衬底及其制备的产业化关键技术研究

2003年 应用技术
  • 成果简介
项目简介：蓝宝石(Al_2O_3)晶体是现代工业，尤其是微电子及光电子产业极为重要的基础材料。地壳中铝元素(Al)含量仅次于硅(Si)，加上蓝宝石独特的优异物化性能和经久、耐用性，其国内外市场将是长期的、永久的，而且其应用领域正在不断扩大。蓝宝石晶体生长、深加工(Epi-ready)生产基地的建立，将打破国外的产品和技术垄断，带动和促进相关产业的发展，国内已建立和在建的氮化镓(Al_2O_3/Ga...
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